大行程高精度宏微观双重驱动工作台的设计与仿真

摘要：

　　设计了一种能实现大行程位移和高精度定位的工作台。工作台采用直线电机和压电陶瓷双重驱动，通过二次定位，以精密光栅尺组成工作台的全闭环反馈控制，从而解决了大行程和高精度之间的矛盾。利用力学理论知识，推导其刚度理论计算公式，同时在Pro/E建模及workbench中分析微动台的静态特性和振动特性。理论分析、有限元计算结果的一致性为设计提供了有效的依据。

关键词： 精密工作台 双重驱动 结构设计 微定位机构 有限元分析

作者: 谢小辉 胡兵 安然 杜如虚

作者单位: 中国科学院深圳先进技术研究院 深圳 518067 深圳市精密工程重点实验室 深圳 518067 香港中文大学 香港 999077 深圳市精密工程重点实验室 深圳 518067

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012中国机构与机器科学国际会议

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 1-3

在线出版日期: 2012-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）