基于DIC的柔顺结构力传感单元设计与实验研究

摘要：

　　随着微机电系统(MEMS)越来越复杂，对微装配、微操作的微力测量要求越来越高。本文提出了一种面向微夹持器柔顺结构视觉力传感单元，该传感器单元与微夹持器采用结构一体化设计思想，加工简易。本文推导了该视觉力传感单元的力-位移理论关系，建立了基于散斑数字图像相关(DIC)方法的柔顺结构力传感单元。通过实验研究，结果表明所提出的柔顺结构视觉力传感单元测量性能达到预期要求。

关键词： 微机电系统 视觉力传感单元 柔顺结构 数值图像相关法

作者: 陈忠 周晓峰 张宪民

作者单位: 华南理工大学广东省精密装备与制造技术重点实验室 广州 510640

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012中国机构与机器科学国际会议

会议地点: 黄山

会议语种:中文

页码: 1-5

在线出版日期: 2012-07-13（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）