电化学技术在微电子中的应用

摘要：

　　电化学制备金属薄膜工艺在微电子领域的应用越来越广泛，体现出其他一些薄膜制备工艺不具备的优势。本文从电镀在半导体集成电路工艺、混合集成电路工艺制作、封装等微电子领域中的应用进行了论述。

关键词： 电化学技术 微电子 电镀工艺 封装技术 金属腐蚀技术

作者: 罗驰 秦岭

作者单位: 中国电子科技集团公司第二十四研究所，重庆 400060

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012中国(重庆)国际表面工程大会暨第十一届中国表面·电镀与精饰年会

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 1-11

在线出版日期: 2012-04-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）