沉积在基底上的纳米薄膜破坏机理的实验研究
本文研究了沉积在有机玻璃基底上的金属脱粘屈曲破坏。对于薄膜在力-热耦合作用下的屈曲问题，在实验中对试件施加对中轴向压缩载荷与热载荷，测量了铝薄膜不同压应力下的热疲劳特性。对于薄膜基底结构在压-压疲劳载荷和本身残余应力的作用下屈曲疲劳扩展问题，对不同膜厚的金属薄膜试件(铝膜和钛膜)进行不同频率、不同循环次数的疲劳加载，并利用光学显微镜和CCD 相机对屈曲的产生以及疲劳扩展的情况进行观察记录。对于金属薄膜在拉伸状态下的分叉和断裂问题，本文主要研究了沉积在PET 基底上的不同厚度的铝膜在拉伸载荷下薄膜的破坏过程。在实验中，分别对薄膜厚度为100nm 、150nm 和200nm 三种不同试件进行了拉伸加载，并研究了薄膜厚度对断裂失效的影响。
纳米薄膜 破坏机理 热力耦合作用 疲劳扩展 铝薄膜
贾海坤 王世斌 李林安 薛秀丽 崔迪强 郭振山
天津大学力学系,天津,300072
国内会议
哈尔滨
中文
1-8
2011-08-22（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）