不同气氛退火对Zn离子注入SiO2中Zn及ZnO纳米颗粒的形成与演变的影响
利用离子注入的方法将剂量为5×1016 ions/cm2，能量为45 keV的Zn离子注入光学纯的石英(SiO2)玻璃基片中，然后在不同气氛中采用不同温度对样品进行退火以促进纳米颗粒的成核与生长。实验结果显示，Zn纳米颗粒的演变过程及形成的ZnO纳米颗粒的质量受的退火氛围的影响。600°C退火后，在单独的氧气气氛围中退火一小时及先在氧气气氛后在氮气气氛围各退火一小时两种处理条件下都能得到ZnO纳米颗粒。但是在单独的氮气中退火只能观测到Zn纳米颗粒的生长。X射线小角衍射(GXRD)对样品测量的结果显示，形成的 ZnO纳米颗粒的优先取向为(002)和(103)晶向。光致发光谱(PL)进一步显示，先氧气后氮气退火处理的样品形成的ZnO纳米颗粒质量较高,本征发光比较强。
锌离子注入 二氧化硅玻璃基片 纳米颗粒 氧化锌
申艳艳 李照东 张大成 何伟岩 刘昌龙
天津大学理学院物理系 天津 300072 天津大学理学院物理系 天津 300072 天津市低维功能材料物理与制备技术重点实验室 天津 300072
国内会议
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2010-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）