会议专题

金刚石薄膜/难熔金属(合金)界面碳化物的研究

  采用热丝化学气相沉积(HFCVD)法,在Mo、Ti、Re 及Mo-Re合金四种薄片基体上沉积了厚度为300nm 左右的金刚石薄膜。利用场发射扫描电子显微镜(SEM),拉曼光谱(Raman)和X射线衍射(XRD)对样品表面形貌和织构进行分析检测。讨论了金属碳化物过渡层对金刚石薄膜形核生长的影响。实验结果表明: 对上述基体来说,除了密排结构的金属Re外,Mo、Mo-Re和Ti基体上均生成了金属碳化物过渡层。所有基体上都得到了均匀形核的纳米级金刚石薄膜,并发现存在二次形核现象。

金刚石薄膜 难熔金属界面 金属碳化物 过渡层 薄膜形核 二次形核现象

吴晓斌 余志明 龚逸伦 黄林杰 程丽乾

中南大学材料科学与工程学院,湖南长沙 410083

国内会议

2010中国材料研讨会

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2010-06-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)