会议专题

氧化铍基金刚石薄膜的制备

  本文采用超高真空热丝化学气相沉积系统(HFCVD),在多晶氧化铍(BeO)陶瓷上沉积了金刚石薄膜。采用X射线衍射仪和激光拉曼光谱仪分析薄膜成分,通过场发射扫描电镜(FESEM)观察薄膜表面形貌,借助热物性激光测试仪测量膜/基复合体的热扩散系数,并计算其热导率。结果表明:随着CH4浓度的增加,金刚石晶粒尺寸逐渐减小,复合体的热导率逐渐降低;沉积条件对CVD法制备氧化铍基金刚石薄膜的性能有重要影响。

金刚石薄膜 氧化铍陶瓷 薄膜性能 材料热导率 热丝化学气相沉积

张益豪 余志明 陈永勤 郁琦

中南大学材料科学与工程学院,长沙 410083 教育部重点实验室功能薄膜材料研究室,长沙 410083

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2010-06-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)