氧化铍基金刚石薄膜的制备

摘要：

　　本文采用超高真空热丝化学气相沉积系统（HFCVD），在多晶氧化铍（BeO）陶瓷上沉积了金刚石薄膜。采用X射线衍射仪和激光拉曼光谱仪分析薄膜成分，通过场发射扫描电镜（FESEM）观察薄膜表面形貌，借助热物性激光测试仪测量膜/基复合体的热扩散系数，并计算其热导率。结果表明：随着CH4浓度的增加，金刚石晶粒尺寸逐渐减小，复合体的热导率逐渐降低；沉积条件对CVD法制备氧化铍基金刚石薄膜的性能有重要影响。

关键词： 金刚石薄膜 氧化铍陶瓷 薄膜性能 材料热导率 热丝化学气相沉积

作者: 张益豪 余志明 陈永勤 郁琦

作者单位: 中南大学材料科学与工程学院，长沙 410083 教育部重点实验室功能薄膜材料研究室，长沙 410083

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国材料研讨会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 1-11

在线出版日期: 2010-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）