ITO靶材制备技术进展

摘要：

　　本文详细介绍了氧化铟锡（ITO）靶材的性能与应用，分析了国内外ITO靶材制备技术的发展，比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况，最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研发和生产进展。

关键词： 掺锡氧化铟 氧化铟锡 半导体材料 靶材制备技术 靶材生产厂家 公司产能

作者: 孙本双 张红梅 扈百直 刘孝宁 王东新 刘秉宁

作者单位: 西北稀有金属材料研究院，国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心，宁夏石嘴山市 753000

会议类型: 国内会议

会议名称: 2010中国材料研讨会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 1-23

在线出版日期: 2010-06-19（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）