ITO靶材制备技术进展
本文详细介绍了氧化铟锡(ITO)靶材的性能与应用,分析了国内外ITO靶材制备技术的发展,比较了国内外主要ITO靶材生产厂家的生产状况,最后介绍了西北稀有金属材料研究院ITO靶材研发和生产进展。
掺锡氧化铟 氧化铟锡 半导体材料 靶材制备技术 靶材生产厂家 公司产能
孙本双 张红梅 扈百直 刘孝宁 王东新 刘秉宁
西北稀有金属材料研究院,国家钽铌特种金属材料工程技术研究中心,宁夏石嘴山市 753000
国内会议
长沙
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1-23
2010-06-19(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)