激光干涉和化学腐蚀制备氢化硅太阳能电池绒面结构

摘要：

　　结合激光干涉法和化学腐蚀法制备绒面掺铝氧化锌薄膜，以及碱腐蚀制备金字塔单晶硅绒面结构。采用扫描电镜观察了绒面形貌，用紫外-可见分光光度计对反射率进行了测试。比较了几种典型绒面结构在降低反射率方面的效果。以n-100型单晶硅为衬底，采用直流磁控溅射、热蒸发等技术制备Al/AZO/P-H：硅太阳能电池，初步探讨了绒面结构对氢化硅太阳能电池短路电流和开路电压的影响。

关键词： 氢化硅太阳能电池 绒面结构 掺铝氧化锌薄膜 制备工艺

作者: 刘仁臣 吴永刚 夏子奂

作者单位: 同济大学物理系精密光学工程技术研究所，上海 200092

会议类型: 国内会议

会议名称: 长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 203-205

在线出版日期: 2011-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）