两种中波红外薄膜材料的光学特性研究

摘要：

　　锗和一氧化硅是中波红外区域通常使用的薄膜材料，研究这些材料的特性，找到最佳制备工艺并拟合出材料的光学常数，是设计制备中波红外光学薄膜的关键。最佳工艺条件下，选用以上两种材料，以蓝宝石为基底，设计并制备出中心波长为3.5μm，相对带宽4.8％的三腔带通滤光片，其通带透过率可达80％。经光谱测试和环境可靠性实验结果表明，该中波红外带通滤光片满足工程使用要求。

关键词： 中波红外薄膜 光学性能 带通滤光片 制备工艺 光谱稳定性

作者: 段微波 刘定权 张凤山

作者单位: 中国科学院上海技术物理研究所，上海，200083

会议类型: 国内会议

会议名称: 长三角地区科技论坛激光分论坛暨上海市激光学会2011年学术年会

会议地点: 上海

会议语种:中文

页码: 223-227

在线出版日期: 2011-11-11（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）