基于虚拟仪器的VDMOS辐照环境下开启电压在线测试系统

摘要：

　　为配合中国科学院微电子研究所VDMOS总剂量辐照、单粒子辐照、瞬态剂量率辐照等极限环境下器件开启电压的在线实时准确测量，开发了一套以虚拟仪器技术和图像化编程语言LABVIEW为核心的功率VDMOS开启电压远程在线自动测试系统。

关键词： 声效应功率晶体管 优化设计 在线测试系统 技术创新

作者: 蔡小五 海潮和 赵发展 王立新 陆江 刘刚 夏洋

作者单位: 中国科学院 微电子研究所,北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 452-454

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）