硅基桥式压电微麦克风的设计与优化
设计了一种硅基桥式压电微麦克风。这种微麦克风采用硅基压电多层微桥作为声压感受器件。采用有限元耦合场分析方法，对硅基压电微桥进行了有限元分析和模拟；研究了硅基压电复合多层膜的结构参数与力学性能的关系；分析了影响微麦克风机电性能的多种因素；给出了优化的器件结构，并提出了优化的制造工艺流程。
微麦克风 优化设计 工艺流程 有限元模拟
方华军 刘理天 任天令
清华大学 微电子学研究所,北京 100084
国内会议
重庆
中文
549-552
2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）