一种硅基集成化叠层螺旋型薄膜变压器

摘要：

　　介绍了一种空芯螺旋叠层型薄膜变压器。采用一个集总电路模型来等效模拟集成化变压器的电路效应，结合硅基IC工艺技术，给出薄膜变压器工艺流程，制备了集成化薄膜变压器样品。测试结果表明：变压器在4.4～14.3GHz的频率范围内能得到大于50％的传输效率，在11.2GHz时，最高可达55.4％。

关键词： 薄膜变压器 结构参数 制造工艺 性能测试

作者: 郑梁 秦会斌 叶丽云

作者单位: 杭州电子科技大学 新型电子器件与应用研究所,杭州 310018

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 630-632

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）