镍铝合金硅化反应研究

摘要：

　　对不同结构的镍铝合金(包舍Ni/Al、Al/Ni、Ni/Al/Ni)在n型硅上的固相反应进行了系统研究。结果显示，该体系中存在Al向Ni的扩散和Ni与Si反应的两种过程，450℃退火处理下，由于界面的Al层阻止了硅化镍的生成，Al作为主导扩散粒子往Ni金属层扩散，而镍铝化舍物在实验中并未发现。Al的加入对于NiSiχ/Si接触肖特基势垒并无显著改变。

关键词： 硅片 扩散机制 镍铝合金 固相反应

作者: 黄益飞 蒋玉龙 茹国平

作者单位: 复旦大学 微电子研究院,上海 200433

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 647-649

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）