基于力法的磁微执行器的失稳研究

摘要：

　　磁徽执行器中存在重要的失稳问题。对于宏观器件，磁芯磁阻可以忽略，可以利用电磁类比得到失稳参数。但对于微观器件，磁芯磁阻不可以忽略，不可以利用电磁类比。本文采用力法对磁微执行器的失稳现象进行分析和建模，考虑了微磁芯磁阻，在建立磁微执行器动态小信号模型的基础上，通过求解两个失稳方程，得到失稳电流和位置两个重要参数。最后，给出了一个分析实例，以反映微磁芯磁阻对的影响，对于磁微执行器的设计具有重要意义。

关键词： 磁微执行器 稳定性分析 力学参数 数值模拟

作者: 方玉明 黄庆安 李伟华

作者单位: 东南大学 MEMS 教育部重点实验室,南京 210096 南京邮电大学 光电工程学院．南京 210003 东南大学 MEMS 教育部重点实验室,南京 210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 748-751

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）