一种NEMS谐振器的新型电容拾振结构

摘要：

　　对静电激励NEMS谐振器的电容拾振方法进行了研究。采用电容拾振的双端NEMS谐振器的驱动电极与检测电极间由于存在耦合电容，将会导致输入端与输出端的馈通，影响检测信号的信噪比。基于双端检测/双端激励，提出一种新型电容拾振结构，该结构能够有效抑制耦合电容引起的馈通。

关键词： 谐振器 电容拾振结构 优化设计 数值模拟

作者: 杨磊 于虹

作者单位: 东南大学 MEMS教育部重点实验室,南京 210096

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十五届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 760-763

在线出版日期: 2007-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）