一种采用4mask低制作成本的液晶显示器

摘要：

　　TFT-LCD 由于制程复杂，设备投资巨大，生产成本很高。4mask(四次光刻技术)可以简化制程，降低生产成本和减少设备投资。本文针对4mask HTM(Half tone mask)技术进行研究，利用模拟和实验开发HTM技术，确定TFT形状采用八角形设计，沟道宽度设计为4.5um可以提高制程稳定性，对TFT采用半透膜补偿设计优化TFT完成后形状，研究成果已成功导入G8.5生产线中。

关键词： 液晶显示器设备 制作工艺 四次光刻技术 灰度掩模板 模拟实验

作者: 薛景峰 许哲豪 郑华 陈世烽

作者单位: 深圳市华星光电技术有限公司，广东 深圳 518132

会议类型: 国内会议

会议名称: 2012中国平板显示学术会议

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 236-239

在线出版日期: 2012-05-10（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）