适于超低功耗纳米尺度硅基集成电路的新器件技术研究
随着集成电路(IC)的不断发展,IC技术已经进入了”功耗限制”的时代,功耗成为集成电路设计和制备中的核心问题。技术进步的主要驱动力己不是传统的scaling,而是包括结构、工艺、材料、机理在内的新器件技术。本文以超低功耗为目标,针对逻辑电路和存储电路发展的需求,兼顾两者未来的集成融合性,介绍具有良好工艺兼容性和集成潜力的低功耗新结构/新机理逻辑和存储器件。同时,对器件相关的可靠性问题进行讨论,为器件和工艺设计和优化提供依据。相关技术将为”绿色微纳”集成电路及系统技术的发展奠定核心的器件基础。
集成电路 低功耗 工艺设计 逻辑器件
黄如
北京大学微电子学研究院
国内会议
北京
中文
318-330
2012-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）