构筑微纳结构的新方法--微接触印刷术

摘要：

　　微接触印刷术是一种纳米器件制备的新方法，能在金、银、硅片、陶瓷等基材表面印刷出纳米-微米量级的精细结构。该方法精确重复，工艺简单，对实验室条件要求也不高，在微电子学、超微机械加工等超微器件制备中有很好的应用前景。

关键词： 印刷工艺 技术创新 微纳米结构 性能优化

作者: 张瑞 陈淼

作者单位: 中国科学院兰州化学物理研究所固体润滑国家重点实验室 兰州 730000

会议类型: 国内会议

会议名称: 甘肃省化学会成立六十周年学术报告会暨第二十三届年会

会议地点: 兰州

会议语种:中文

页码: 211-212

在线出版日期: 2003-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）