洁净室建造与节能
随着现代产品生产、科学实验对加工/实验过程的微细化、精密化和高纯度的要求日益严格,科学实验和产品生产的实践,对洁净生产环境的要求日益严格、确切和细化。国际标准化组织在1999年发布的IS014644洁净室系列标准中对空气洁净度等级、检测、设计施工和运行等都提出了明确、具体的要求或建议。对洁净室作了准确的定义:洁净室(区)是空气悬浮粒子浓度受控的房间(限定空间)。洁净室(区)的建造和使用方式要尽可能减少室内引入、产生和滞留粒子,室内其它相关参数如温度、湿度和压力按要求进行控制。
清洁生产 洁净室技术 能量消耗 建造规划
陈霖新
中国电子工程设计院
国内会议
成都
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2005-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)