硅基太阳能电池高陷光纳米减反结构制备与研究

摘要：

　　采用化学腐蚀法制备硅基太阳能电池表面高陷光纳米减反结构。室温下利用HF、HNO3、H2O2、C2H5OH、异丙醇不同配比的混合溶液进行了实验对比。利用电子显微镜(SEM)观察表面形貌，利用量子测量系统测试其反射率，并与电池裸片和常规电池的金字塔反射率做比较。总结出了化学腐蚀法所获得的纳米结构对提高电池的陷光都有很重要的作用，尤其是在短波段下，其反射率是金字塔也无法比拟的。

关键词： 硅太阳能电池 化学腐蚀法 纳米结构 减反射特性

作者: 林阳 高云 贾锐 李昊峰 窦丙飞 金智 刘新宇 叶甜春

作者单位: 中科院微电子研究所,北京 100029 湖北大学,武汉 430062 湖北大学,武汉 430062 中科院微电子研究所,北京 100029

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 三亚

会议语种:中文

页码: 213-216

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）