氧化层厚度对NPN双极晶体管辐射损伤的影响

摘要：

　　研究了不同氧化层厚度的两种国产NPN双极晶体管在高低剂量率下的辐射效应和退火特性。结果显示：随着总剂量的增加，晶体管基极电流增大，电流增益下降，且薄氧化层的晶体管比常规厚氧化层的晶体管退化更严重。另外，两种NPN晶体管均表现出明显的低剂量率损伤增强效应，并对各种实验现象的损伤机理进行了分析。

关键词： NPN双极晶体管 辐射效应 氧化层厚度 低剂量率 退火特性

作者: 席善斌 陆妩 王志宽 任迪远 周东 文林 孙静

作者单位: 中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐 830011 新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐 830011 中国科学院研究生院,北京100049 中国科学院新疆理化技术研究所,乌鲁木齐 830011 新疆电子信息材料与器件重点实验室,乌鲁木齐 830011 模拟集成电路国家重点实验室,重庆 400060

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国半导体集成电路、硅材料学术会议

会议地点: 三亚

会议语种:中文

页码: 309-312

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）