聚合物波导光栅耦合器设计
基于聚合物PSQ材料,对波导光栅离面耦合器进行了研究。针对通常聚合物波导芯层与包层折射率著小,导致其作为离面耦合器耦合效率低的问题,在聚合物波导上添加高折射率的SiN上包层,可以提高耦合效率。对波导刻蚀深度、光栅周期、SiN层厚度等参数对耦合效率的影响进行了仿真分析,初步获得了优化的结构参数。
聚合物 波导光栅耦合器 耦合效率 光波导 优化设计
杨星 韩秀友 王凌华 王锦艳 蹇锡高 赵明山
大连理工大学 物理与光电工程学院,大连,116024 大连理工大学 光子技术研究中心,大连,116024 大连理工大学 化工学院,大连,116024 大连理工大学 光子技术研究中心,大连,116024
国内会议
合肥
中文
53-61
2011-10-15(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)