热丝化学气相沉积法制备优质微米/亚微米级单晶金刚石的研究

摘要：

　　本文利用热丝化学气相沉积法(HFCVD)，在硅片衬底上进行微米级(>1μm)及亚微米级(<1μm)单晶金刚石的沉积研究。微米级颗粒金刚石是以高温高压法(HPHT)制备的1μm金刚石颗粒为籽晶，通过甩胶布晶的方法，在衬底上均匀分布晶种，并通过合理控制沉积工艺参数，在衬底上形成晶形完好的单晶金刚石，在沉积2h后，可消除原HPHT籽晶缺陷，沉积6h后，生长出晶形良好的立方八面体金刚石颗粒(约4μm)；对于亚微米级单晶金刚石，可直接在衬底上进行合成，通过调控沉积参数(如衬底预处理方法、偏压大小、沉积时间)对单晶金刚石的分布密度和颗粒度进行控制，经过2h的沉积，最终获得0.7μm的二十面体单晶金刚石。

关键词： 超硬材料 金刚石粉末 热丝化学气相沉积法 工艺参数

作者: 张韬 沈彬 孙方宏 张志明

作者单位: 上海交通大学机械与动力工程学院,上海 200240 上海交友钻石涂层有限公司,上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 18-24

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）