硅表面金刚石膜红外增透性能研究

摘要：

　　本文通过在大面积区熔硅表面沉积金刚石膜,制作硅的红外增透膜。经扫描电镜观察,金刚石膜的颗粒尺寸平均约2μm,晶体颗粒形状规则。测试单面镀膜的红外透过率最高达65％。双面镀膜红外透过率最高达84％。初步考核证明硅表面金刚石具有一定的抗热冲击性能。分析了硅表面金刚石薄膜的红外增透特性,提出了进一步提高金刚石膜红外增透性能的方法。

关键词： 金刚石薄膜 硅基体 沉积工艺 性能测试

作者: 胡东平 丰杰 李建国 梅军

作者单位: 中国工程物理研究院总体工程研究所,绵阳 621900

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 63-68

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）