硅基CVD金刚石膜的制备及应用

摘要：

　　本文对硅基体上沉积金刚石膜的制备方法以及应用领域进行了研究和介绍。通过研究发现，硅基体上沉积的金刚石膜几乎没有网状裂纹出现，改进工艺条件后可得到更高强度。此外，本文还介绍了硅基金刚石膜目前技术发展状况，面临的问题以及应用前景。

关键词： 金刚石膜 硅基体 热丝化学气相沉积技术 性能分析

作者: 何敬晖 陈磊 秦松岩 玄真武

作者单位: 北京天地东方超硬材料股份有限公司,北京 100018

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 74-80

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）