硅片线切割设备现状与发展综述

摘要：

　　本文介绍国外硅片切割设备研究的最新进展以及国内发展状况，剖析虽然经多年艰苦努力，国产切割设备乃未能取代进口设备的原因，指出应重点研究发展金刚石多线切割设备。金刚石单线和环线切割机应用前景广阔。

关键词： 超硬材料行业 硅片切割设备 金刚石线锯设备 科技创新

作者: 郑超

作者单位: 国家特种矿物材料工程技术研究中心,桂林 541004

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 191-196

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）