环形电镀金刚石线锯研究应用浅析

摘要：

　　环形电镀金刚石线锯是将金刚石磨粒固着于环形钢丝基体上的一种切割工具。本文阐述了钢丝基体材料的选择、焊接方法、环形电镀金刚石线锯的制作工艺。文章使用自制的环形电镀金刚石线锯进行了多晶硅的切割试验,切割工艺参数：锯丝线速度20～40m/s,工件进给速度2～10mm/min,锯丝张紧力60-100N。试验表明：硅片表面平整光滑,粗糙度Ra在O.328～O.562μm之间,体现出环形金刚石线锯切割的良好特性。

关键词： 贵重硬脆材料 环形电镀金刚石线锯 焊接工序 基体材料 工艺参数

作者: 刘莹 王进保 陈超 周世威 吕智 郑超

作者单位: 桂林理工大学材料科学与工程学院,桂林 541004 桂林矿产地质研究院,桂林 541004 桂林理工大学材料科学与工程学院,桂林 541004 桂林矿产地质研究院,桂林 541004

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011中国(郑州)国际磨料磨具磨削技术发展论坛暨超硬材料论坛

会议地点: 郑州

会议语种:中文

页码: 202-206

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）