基于MEMS加工工艺的亚毫米波肖特基单端混频器

摘要：

　　基于MEMS技术完成了一个360GHz肖特基混频器的设计与加工制作。由于亚毫米波电路尺寸微小，通常的蚀刻方法不能满足加工精度要求，而MEMS工艺通过溅射、光刻、电镀等流程完全可达到亚毫米波电路的精度要求。由此得到的混频电路尺寸非常紧凑，可以满足小型化应用的需要。

关键词： 亚毫米波混频器 肖特基二极管 结构设计 性能参数 功能测试

作者: 钱嵩松 陈和峰 赵芸

作者单位: 南京理工大学，江苏 南京 210094 南京理工大学，江苏 南京 210094 北方惠丰机电有限公司，山西 长治 046012

会议类型: 国内会议

会议名称: 第八届全国毫米波亚毫米波学术会议

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 55-58

在线出版日期: 2011-08-08（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）