基于In2O3-ZnO复合敏感膜的声表面波室温H2传感器

摘要：

　　利用水热的方法制备了不同Zn2+掺杂量的In2O3-ZnO复合敏感膜，用于36°YX-LiTaO3基片的声表面波氢气传感器测试。当In3+/Zn2+6/4时，传感效果最佳，氢气浓度为0.08%时，频率变化达到126 kHz,且有很高的灵敏度。

关键词： 声表面波氢气传感器 复合敏感膜 水热法 性能表征

作者: 王艳 张淑仪 杨跃涛

作者单位: 南京大学声学研究所近代声学实验室 南京 210093

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国声学学会第九届青年学术会议

会议地点: 广州

会议语种:中文

页码: 175-176

在线出版日期: 2011-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）