双层压电薄膜激发TSM模式的谐振特性研究
本文利用双层面内反向极化的压电薄膜作为TSM模式的激发源，研究这种压电层配置对声波传感器性能的影响。根据理论结果，给出优化的声波传感器模型和设计方法。当双层压电薄膜满足一定的厚度关系ωlT/vT=ωlB/vB=π，增强的二阶TSM谐振模式被激发，同时基频TSM模式被抑制。增强谐振模式具有更高的谐振频率和品质因子能有效提高传感器的灵敏度。所以，可以通过选取合适的双层压电薄膜材料及其厚度比例提高传感器工作模式的谐振频率和品质因子，对传感器的传感精度和灵敏度进行优化。
声波传感器 压电薄膜 谐振特性
张辉 张淑仪 王禹然 范理
南京大学声学研究所近代声学实验室,南京,210093
国内会议
广州
中文
181-182
2011-11-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）