核径迹技术用于CR-39宽波长抗反射材料研究

摘要：

　　综述了核径迹技术用于CR-39宽波长抗反射材料研究，采用HI-13串列加速器产生的32S粒子(能量80Mev，流强20nA)辐照CR-39样品，密度分别为108、109/cm2。将辐照过的样品放在清洁环境中。并采用了四因素三变量正交实验表L43来最佳化蚀刻实验的温度、浓度和时间。并对制备的抗反射样品的抗反射性能进行了概述。

关键词： 抗反射材料 核径迹技术 正交实验表 性能分析

作者: 刘存兄 倪邦发 胡炼 肖才锦 黄东辉 张贵英 吕鹏 王平生 田伟之

作者单位: 中国原子能科学研究院 北京

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十二届全国活化分析学术交流会

会议地点: 南宁

会议语种:中文

页码: 55-57

在线出版日期: 2010-10-18（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）