高气压下微波等离子体化学气相沉积金刚石

摘要：

　　微波等离子体化学气相沉积是制备高质量金刚石膜的一个理想的方法。本文利用具有强化电磁场分布的压缩波导结构，设计了一套微波等离子体源，该源能够在较低气体流量和微波功率条件下，实现高气压的稳定放电。利用该微波等离子体源进行金刚石膜的化学气相沉积，并对沉积的金刚石膜进行SEM表征，研究了与该系统相关的金刚石膜沉积工艺与金刚石膜质量之间的关系。高气压下微波等离子体化学气相沉积实现了高质量金刚石厚膜的高效率、低成本制备。

关键词： 金刚石 制备工艺 微波等离子体 化学气相沉积

作者: 马志斌 张磊 翁国峰 湛玉龙

作者单位: 武汉工程大学材料科学与工程学院，湖北省等离子体化学与新材料重点实验室，湖北武汉 430073

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 232-236

在线出版日期: 2011-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）