多晶硅氢化炉用炭/炭发热体的硅化效应

摘要：

　　利用化学气相沉积结合树脂浸渍炭化工艺制备了多晶硅氢化炉用炭/ 炭发热体材料，并在多晶硅氢化炉实际环境下进行试用。对试用后的炭/ 炭发热体材料进行了SEM、XRD、EDS分析，并结合热力学数据进行了化学反应的热力学计算。结果表明：炭/ 发热体材料在SiCl4和H2气氛下，中间相气体SiH2Cl2和反应产物SiH3Cl与炭/ 炭发热体材料的基体炭发生化学反应生成碳化硅，碳化硅晶体呈棱状方式相互交叠在一起。

关键词： 炭/ 炭发热体 多晶硅氢化炉 硅化效应 热力学 微观结构 复合材料

作者: 张永辉 魏花丽 肖志超 苏君明 彭志刚 侯卫权

作者单位: 西安超码科技有限公司，陕西西安，710025 中国 西安航天复合材料研究所，陕西西安，710025 中国 西安超码科技有限公司，陕西西安，710025

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国新型炭材料学术研讨会

会议地点: 深圳

会议语种:中文

页码: 406-409

在线出版日期: 2011-12-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）