乙醇为前驱体冷壁CVD法炭单丝表面沉积热解碳涂层的研究
本文采用炭基体单丝直接通电加热的冷壁化学气相沉积工艺,以无水乙醇为前驱体,在大直径沥青基炭单丝表面沉积热解碳涂层。通过扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱技术表征了热解碳的形貌和微观结构,并计算了涂层轴向表面的晶粒尺寸。结果表明,随沉积温度升高,由于乙醇热解活化自由能变小,热解碳微观结构变得有序,晶粒尺寸变大。而随着乙醇流量的增加,基体表面的反应物种浓度提高,使晶粒尺寸有变小趋势。一定工艺条件下制备的热解碳涂层具有完好的晶体结构,其拉曼谱峰中类似于完好结构单层石墨烯的拉曼谱峰峰型,I2700/IG 值约为2.23,表明该工艺条件下热解碳晶粒尺寸分布范围小,缺陷较少。
热解碳涂层 制备工艺 气相沉积 微观结构
赵松 史景利 魏兴海 闫曦 郭全贵 冯志海 樊桢 樊桢
中国科学院山西煤碳化学研究所,碳材料重点实验室,太原 030001中国科学院研究生院,北京 100049 中国科学院山西煤碳化学研究所,碳材料重点实验室,太原 030001 航天工艺材料研究所先进功能复合材料技术国防科技重点实验室,北京10076
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410-414
2011-12-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)