基于多孔硅牺牲层的线列氧化钒非制冷红外探测器制备

摘要：

　　非制冷红外探测器广泛应用于消防，汽车夜视，监控和军事等诸多领域。而氧化钒非制冷红外探测器具有高电阻温度系数、室温下运行无需制冷的特点，是一类性能优异的热红外探测器。采用电化学腐蚀多孔硅方法和两种不同流程制备了128元线列氧化钒非制冷探测器，增加了TiN吸收层。分析了多孔硅牺牲层的反应机理并对两种流程的效果进行了比较。

关键词： 氧化钒非制冷红外探测器 制备流程 多孔硅牺牲层 反应机理

作者: 王彬 赖建军 赵二景 陈四海

作者单位: 华中科技大学光电子科学与工程学院,湖北 武汉 430074 武汉光电国家实验室,湖北 武汉 430074

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十三届全国红外加热暨红外医学发展研讨会

会议地点: 武汉

会议语种:中文

页码: 79-82

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）