随机表面粗糙度对MEMS径向气体轴承性能的影响

摘要：

　　基于分形几何理论表征了MEMS径向气体轴承的随机粗糙表面，修正了气体的雷诺方程，研究了径向轴承中气体薄膜在滑移效应和粗糙度耦合作用下的压强分布、承载能力等轴承特性。结果表明：由于表面粗糙度的影响，气体轴承压力分布、承载能力具有非线性特性，波动较明显。

关键词： 微机电系统 分形几何 气体轴承 滑移效应 粗糙表面

作者: 张文明 孟光

作者单位: 上海交通大学机械系统与振动国家重点实验室,上海 200240

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国振动理论及应用学术会议

会议地点: 南京

会议语种:中文

页码: 1072-1075

在线出版日期: 2011-10-27（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）