会议专题

氧化锌基稀磁半导体薄膜制备与磁性机理研究

  本文研究了磁性过渡金属Co掺杂ZnO体系,采用电感耦合等离子体增强物理气相沉积法在不同的条件下制备了上述薄膜,表征了薄膜的微结构、半导体性能、磁性和光学性能。研究结果表明对于Co掺杂ZnO纳米薄膜具有表面平整、晶粒大小均匀、良好的光学透过特性,只有在高真空条件下沉积的薄膜才表现出室温铁磁性,随着氧气分压的增大,铁磁性消失,并且具有铁磁性的薄膜经氧气气氛退火铁磁性也消失;在体系中引入Al后薄膜则表现出稳定的室温铁磁性。

稀磁半导体材料 纳米薄膜 氧化锌基 过渡金属离子 磁性机理

刘学超 卓世异 熊泽 施尔畏

中国科学院上海硅酸盐研究所,上海,200050

国内会议

第十八届全国半导体物理学术会议

呼和浩特

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2011-08-20(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)