波长可调谐垂直腔面发射激光器

摘要：

　　本文采用新型悬臂梁式可调谐垂直腔面发射激光器结构，将具有Al0.8Ga0.2As牺牲层结构的DBR反射镜制备成微纳光机电系统(Micro-Nano-Optical Machine System,MEMS),并与多量子阱有源区光纵向耦合结构相结合,有效提高VCSEL耦合效率、实现单模输出、光波可调控制。

关键词： 光通信技术 可调谐垂直腔面发射激光器 微纳光机电系统 光波调控

作者: 关宝璐 郭霞 李硕 史国柱

作者单位: 北京工业大学电子信息与控制工程学院,半导体光电子技术与器件实验室,北京,100124

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十八届全国半导体物理学术会议

会议地点: 呼和浩特

会议语种:中文

页码: 65

在线出版日期: 2011-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）