镶嵌于SiC中的纳米硅的制备及光电性质研究
通过对等离子体增强化学气相沉积法制备出的非晶碳化硅膜的微结构和光学特性进行了研究，发现结构和化学键组态的变化对其光学特性的影响很大，在原来工作的基础上，进一步对系列非晶碳化硅的电导率随温度的变化关系进行了研究，通过热退火获得了纳米硅镶嵌在碳化硅结构，研究了其结构及光学、电学特性。
纳米硅材料 非晶碳化硅 结构特征 光电性质
李淑鑫 芮云军 曹蕴清 徐骏 李伟 陈坤基
南京大学电子科学与工程学院,固体微结构物理国家重点实验室,南京,210093
国内会议
呼和浩特
中文
176
2011-08-20（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）