基于C#控件技术的IC装备控制系统的图形元素可视化实现
目前国内半导体厂投资已朝向300mm晶圆发展，其晶圆的生产工序日渐复杂，针对晶圆加工现场有很多数据需要在前台进行显示和处理，前台需要对设备的运行状态进行监控，及时反馈设备的运行信息的情况，本文对半导体集成电路的生产制造设备(IC装备)控制系统的图形元素的可视化方法进行了研究。利用C#的控件技术，使晶圆加工过程中的设备和数据以可视化控件的方式来搭建IC装备控制系统的人机界面，并根据实际情况实现动画效果，使用户有身临其境的应用效果。这种基于C#控件技术的开发方法即可实现控件的重用和代码的共享，从而提高编程效率，便于分工协作、利于调试。
自动控制系统 用户图形界面 程序设计 C#控件技术 可视化
金妮 徐皑冬 刘明哲 李正
中国科学院沈阳自动化研究所,辽宁 沈阳 110016
国内会议
杭州
中文
65-68
2011-11-04（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）