会议专题

超声芯片无损检测系统的研发与应用

  本文详细介绍了一种超声芯片检测系统的研制过程,并针对特定的芯片对象,对采集的芯片内部图像进行各种增强、滤波等图像处理,软件系统实现了对三维运动平台的精确控制,实现各模块间的同步触发、具有优异的功能和性能,为进一步推进我国超声波精密无损检测水平打下坚实的基础。

半导体芯片 无损检测技术 系统开发 模块化设计

吴蕾 居冰峰 林军

工业和信息化部电子第五研究所 广州市天河区东莞庄路110号 浙江大学机械电子工程研究所 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

国内会议

2011第十四届全国可靠性物理学术讨论会

苏州

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7-11

2011-11-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)