超声芯片无损检测系统的研发与应用

摘要：

　　本文详细介绍了一种超声芯片检测系统的研制过程，并针对特定的芯片对象，对采集的芯片内部图像进行各种增强、滤波等图像处理，软件系统实现了对三维运动平台的精确控制，实现各模块间的同步触发、具有优异的功能和性能，为进一步推进我国超声波精密无损检测水平打下坚实的基础。

关键词： 半导体芯片 无损检测技术 系统开发 模块化设计

作者: 吴蕾 居冰峰 林军

作者单位: 工业和信息化部电子第五研究所 广州市天河区东莞庄路110号 浙江大学机械电子工程研究所 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011第十四届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 7-11

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）