PHEMT器件肖特基结特性分析与评价技术

摘要：

　　GaAs PHEMT器件在高温及大功率RF／微波领域有着广泛的应用，是目前最具前景的微波器件。肖特基结的可靠性直接关系到GaAs PHEMT特性，本文针对PHEMT样品，采用高温恒定加速寿命试验，通过对比分析试验前后反映肖特基结的参数及器件的RF、DC特性关系，确定评估栅金属下沉的敏感参数，对栅金属下沉机理进行分析与研究。

关键词： 微波通信 PHEMT器件 肖特基结 寿命试验 评价方法

作者: 黄云 洪潇

作者单位: 工业和信息化部电子第五研究所 广州市天河区东莞庄路110号

会议类型: 国内会议

会议名称: 2011第十四届全国可靠性物理学术讨论会

会议地点: 苏州

会议语种:中文

页码: 95-98

在线出版日期: 2011-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）