一种高功率密度薄膜功率电阻的试制

摘要：

　　文章以CrSi合金为靶材，通过射频磁控溅射制备高功率密度薄膜功率电阻。从溅射参数、热处理参数和电路图形的改善两方面来提高CrSi薄膜电阻的功率密度。

关键词： 薄膜电阻器 制造工艺 射频磁控溅射技术 功率密度

作者: 申蓉 姜贵云

作者单位: 北京飞宇微电子有限责任公司,北京 100027

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 5-8

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）