自约束零收缩LTCC基板材料研究

摘要：

　　本文研究了自约束零收缩LTCC基板材料中微晶玻璃、常规非晶态玻璃的配方；不同微晶玻璃与氧化铝粉末比例，对锁紧层结构以及烧结后基板弯曲程度的影响，最后得到了烧结后致密的自约束零收缩LTCC基板材料。

关键词： 低温共烧陶瓷基板材料 微晶玻璃 锁紧层结构 弯曲强度

作者: 阳皓 胡永达 杨邦朝 范启兵

作者单位: 电子科技大学微电子与固体电子学院,四川 610054

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 53-56

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）