功率混合集成电路组装互连工艺设计研究

摘要：

　　功率混合集成是混合集成电路的重要发展方向，功率混合集成电路的一个重要特点是其中集成有功率元件和功率基板，功率电路组装互连工艺设计的主要任务是确保功率元件和基板上的热量，能通过组装互连通道有效地散发出去，并保证组装互连工艺以及产品的质量和可靠性。本文针对功率混合集成电路，在功率元件和功率基板组装、互连方面，进行了研究和探讨，介绍了相关工艺设计的技术方法和要点。

关键词： 功率混合集成电路 组装互连技术 工艺设计 可靠性分析

作者: 夏俊生

作者单位: 中国兵器工业第214研究所,蚌埠 233042

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 106-111

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）