小型化MCM微波模块技术

摘要：

　　本文针对微波电路小型化发展的特点，提出了一种小型化MCM模块的设计工艺研发模式，对LICC微波电路的工艺特点进行了分析，指出了模块设计时重点考虑的关键工艺特性，在两者密切融合发展的基础上，小型化MCM微波模块的工程化应用成熟度将大幅提高。

关键词： 微波混合集成电路模块 制造工艺 优化设计 工程应用

作者: 张芹 周卫 方哲 何长奉

作者单位: 中国航天科工集团第二研究院二十三所,国防科技工业军用微组装技术研究应用中心,北京 100854

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 175-179

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）