薄厚膜电阻器电流噪声指数测试系统

摘要：

　　薄厚膜电阻是混合集成电路中重要的元件，低频电流噪声指数是其质量与可靠性评价参数之一。本文在薄厚膜电阻器噪声特性研究基础上，研究其低频噪声的方法，在相关标准测试原理基础上改进测试技术，设计制作了电阻器电流噪声指数测试系统。使用该系统进行了验证实验，同时对不同阻值薄、厚膜电阻进行了测试，并对测试结果进行了分析。

关键词： 薄厚膜电阻器 电流噪声指数 测试系统 可靠性分析

作者: 陈文豪 杜磊 包军林 张晓芳

作者单位: 西安电子科技大学技术物理学院,西安 710071 西安电子科技大学微电子学院,西安 710071

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 231-238

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）