膜厚对声表器件频率特性的影响

摘要：

　　声表面波器件特点显著应用广泛，且完全可以利用大规模集成电路的平面制造技术制作，但对图形的厚度要求更加严格。本文结合几个实例分析讨论了膜厚对不同类型声表器件频率特性的直接影响，阐明了膜厚准确度对不同结构和不同电性能的各类器件的重要性及其在设计中的指导意义。

关键词： 声表面波器件 平面制造技术 膜厚准确度 频率特性 电性能

作者: 郝晓勤

作者单位: 南京电子技术研究所国防科技工业军用微组装技术研究应用中心,南京 210039

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 245-249

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）