超宽网带炉的均匀性研究分析

摘要：

　　本文简要介绍了厚膜烧结炉应满足厚膜工艺的基本特性以及厚膜炉的系列产品，详细介绍了实验分析方法及过程，并依据实验结论设计出超宽网带炉，重复验证了宽网带炉的均匀性，与实验结论一致，达到了设计目标。

关键词： 宽网带烧结炉 结构设计 均匀性分析 工业用炉

作者: 朱兵 李争 单伟 孔君可

作者单位: 中国电子科技集团公司第43研究所恒力公司,合肥 230088

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十七届全国混合集成电路学术会议

会议地点: 合肥

会议语种:中文

页码: 251-256

在线出版日期: 2011-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）